上海交通大学 陈迪
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陈迪
陈迪老师的简介
男,1961年出生,1986年和1990年分别获德国汉堡大学化学系硕士和博士学位,1990-1992年在德国MicroParts公司从事MEMS三维微加工技术的博士后研究工作,自1993年起在上海交通大学任职,2004年赴新加坡南洋理工大学作访问学者。先后主持和承担了国防科工委、国家自然科学基金委、国家科技部教育部、上海市科委、教委和美国3M公司的多项科研项目。开发出了新型X光掩模板制备工艺和新的非硅三维微加工技术-DEM技术,发表论文四十余篇,
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